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电子级高纯乙硼烷系列产品,为高科技制造提供核心材料

电子级高纯乙硼烷

电子级高纯乙硼烷 (B₂H₆)

乙硼烷是一种无机化合物,化学式为B₂H₆,是目前能分离出的最简单的硼烷。作为一种重要的特种电子气体,乙硼烷在半导体和光伏行业中有着广泛的应用。

海科福鹏生产的电子级高纯乙硼烷采用先进的生产工艺和纯化技术,产品纯度高、杂质含量低、性能稳定,能够满足不同客户的高端需求。

我们可以根据客户需求提供不同纯度等级和包装规格的产品,为客户提供定制化解决方案。

产品规格

海科福鹏电子级乙硼烷主要技术指标

检测项目 单位 企业标准 分析方法
乙硼烷(B2H6) vol% ≥99.999% 气相色谱
氮气 (N2) ppm(v/v) ≤0.5 气相色谱
氧气 (O2) ppm(v/v) ≤0.5 气相色谱
甲烷 (CH4) ppm(v/v) ≤0.5 气相色谱
二氧化碳 (CO2) ppm(v/v) ≤2.0 气相色谱
乙烷(C2H6) ppm(v/v) ≤3.0 气相色谱
一氯甲烷 (CH3Cl) ppm(v/v) ≤0.1 气相色谱

包装规格

我们提供多种包装规格,满足不同客户的使用需求

高压钢瓶(碳钢)

容量:10L,47L

压力:0-12Mpa

阀门:CGA350,DISS632

高压钢瓶(不锈钢)

容量:10L,47L

压力:0-12Mpa

阀门:CGA350,DISS632

高压钢瓶(铝合金)

容量:10L,47L

压力:0-12Mpa

阀门:CGA350,DISS632

产品优势

海科福鹏电子级高纯乙硼烷的核心竞争力

超高纯度

采用先进的纯化技术,产品纯度可达99.999%以上,杂质含量极低,满足芯片制造需求。

质量稳定

严格的质量控制体系,从原材料到成品全程监控,确保产品质量稳定可靠,连续提纯,确保批次质量稳定。

安全可靠

甲类防爆生产环境,局部洁净充装。全厂DCS及安全仪表系统,确保生产的安全性和稳定性。

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电子级乙硼烷(B₂H₆)产品说明